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从交投端来看，本周以来产品单日成交额连续站稳5亿元关口，区间日均成交额达6.74亿元，相较于年初以来2.42亿元的日均成交水平实现大幅放量；资金端同样表现亮眼，本月以来产品已斩获6.03亿元资金净流入，当前最新规模达25.69亿元，流动性优势突出。 技术层面同样传来积极信号。2026国际电路与系统研讨会于5月25日在上海举行。华为公司董事在题为《半导体新路径探索与实践》的主旨演讲中，正式提出“韬（τ）定律”。这是中国在全球半导体领域首次提出指导产业发展的新原则，将为国内先进芯片制程、高端先进封装等核心领域的技术迭代提供全新指引，有望加速国内半导体产业自主化、高端化升级进程。 爱建证券指出，国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。半导体设备的刻蚀均匀性、沉积一致性、真空稳定性及热场控制能力，均需依托关键零部件实现，因此设备先进制程能力的提升，本质上取决于零部件性能的同步突破。存储扩产+设备多腔化趋势有望持续提升设备单机价值量、单位腔体密度以及核心零部件价值占比，进一步放大半导体设备零部件环节的业绩弹性。 科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）及其联接基金（A类024974/C类024975）有望受益于AI硬件浪潮和国产替代的双重催化，其标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数中“半导体设备+半导体材料”行业权重占比达85.38%、“先进封装”概念占比高达59%，同时区别于其他部分半导体主题指数沪深两市的选股范围，科创半导体材料设备指数100%科创板市场选股的特性或赋予指数更强的弹性。近一年科创半导体材料设备指数累计涨幅达168%，优于同期中证半导体材料设备主题指数152%的表现。 华泰柏瑞基金作为国内首批ETF管理人，在指数投资领域深耕超19年，为投资者打造了沪深300ETF华泰柏瑞（510300）、A500ETF华泰柏瑞（563360）等投向透明、交易便捷、费率低廉的指数工具标杆。截至2026年3月末，公司旗下ETF近两年累计为持有人盈利超2234亿元，是同期A股全市场仅有的三家累计盈利超两千亿的公募基金公司之一；费率方面，公司旗下61.99%规模的ETF产品采取目前市场权益指数基金最低一档费率结构（管理费率0.15%/年+托管费率0.05%/年）。 © 1996-2026 SINA Corporation。

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