李综瑞

证券日报网讯 5月28日，皖仪科技在互动平台回答投资者提问时表示，皖仪科技氦质谱检漏仪可精准检测半导体器件封装气密性，有效甄别封装微泄漏缺陷，规避水汽、杂质侵入引发的器件性能衰减与失效问题，保障芯片在高低温、湿热、振动等复杂工况下的长期稳定性与可靠性，可广泛适配半导体真空封装、陶瓷金属气密封装、晶圆级封装（WLP）、系统级封装（SiP）及功率器件封装等核心工艺环节，是半导体封装制程气密性质控与可靠性验证的核心精密检测设备。2025年度，公司二氧化硫分析仪、氨气分析仪、在线离子色谱系统等产品，凭借气体采样和气态分子分析技术，成功突破半导体晶圆厂洁净电子车间AMC（气态分子污染物）在线监测业务，并形成一定的收入。此外，公司在研项目——超痕量多种气体一体化智能传感器研发项目的应用也包括半导体行业。 © 1996-2026 SINA Corporation。

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